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Instrument d'Ion Sputtering, SBC-12, cible disponible pour l'Au, AG, Cu, Al
La TECHNOLOGIE Cie., Ltd de KYKY, a été fondée en 1958, le pionnier de la technologie de vide et optique électronique en Chine. Pendant les dernières 60 années, KYKY a été consacré fournir les solutions complètes de vide aux clients partout dans le monde.
KYKY a inventé le premier ensemble de pompe moléculaire de Turbo, de détecteur de fuite commercial d'hélium et de microscope balayage électronique en Chine.
En 1970 s, KYKY, branche de SEM de KYKY a avec succès développé le premier microscope balayage électronique en Chine.
Dispositif d'enduction de pulvérisation pour la préparation témoin de SEM, prétraitement non conducteur d'échantillon.
Gaz moyen : air ou l'argon, avec l'admission d'argon et le microrégleur d'inflation d'air. Disponible adapté aux besoins du client, par exemple (équiper de la mesure d'épaisseur de revêtement)
Avantages :
petite taille ; opération conviviale ; adapté la majeure partie de la cible en métal ; Mode d'argon disponible.
Caractéristiques :
Diamètre fonctionnant de chambre : | 75-150mm |
Système de vide | Pompe rotative pour l'évacuation, 2L/s |
Taux de dépôt : | 2-10 nm/min |
Puissance : | 220V/50Hz |
Chambre de traitement en verre | ∮100mm ; 130mm haut. |
Taille d'étape de spécimen : | ∮40mm (tasses de spécimen de prise 6) |
Taille d'or de cible : | ∮58mm*0.12mm (épaisseur) |
Détection de vide : | Mesure de Pirani |
Protection de vide : | PA 20 avec la valve d'inflation de micro-échelle |
Gaz moyen : | L'argon ou air avec l'entrée d'air spéciale de gaz d'argon et gaz réglant dans la micro-échelle. |
Applications :
Premade de spécimen pour l'électron de balayage (capable de pulvérisation, or. argenté, de cuivre, titanique et en aluminium. )