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Ce instrument d'orientation cristalline par rayons X est conçu pour l'alignement de haute précision du plan de référence des barres monocristallines grce la technologie de diffraction des rayons X. Il est capable d'aligner le plan cristallographique principal (communément le plan ) pour les barres de diamètres 2, 4 et 6 pouces. Le système prend en charge les orientations standard et personnalisées telles que les plans C ou R, ce qui le rend adapté diverses applications de traitement des semi-conducteurs et des cristaux.
Plateforme de référence stable :
La machine est dotée d'une plateforme de base rigide fixée la
structure principale, servant de référence horizontale pendant la
mesure. Le côté droit de la plateforme est conçu pour le
positionnement, tandis que le côté gauche comprend un mécanisme de
serrage vis pour maintenir fermement la fixation et le cristal en
place.
Orientation précise du plan :
Le système permet un alignement précis de la face de référence , avec un angle θ standard de 18,917° (18°55′00″). Des orientations
alternatives peuvent être configurées sur demande pour s'adapter
différentes directions cristallographiques.
Fonctionnement convivial :
Étalonnage de l'instrument : Effectué l'aide d'une barre cristalline standard pour garantir un alignement angulaire fiable.
Positionnement et balayage : Après le nettoyage, la fixation est placée sur la plateforme et ajustée jusqu' ce que le faisceau de rayons X irradie la surface cylindrique.
Détection des pics : La barre est lentement tournée sous l'exposition aux rayons X. Lorsque le compteur μA atteint sa lecture maximale, le cristal est correctement aligné et verrouillé en place.
Préparation du meulage : Le cristal aligné peut être retiré et transféré directement vers une machine meuler pour le traitement de surface.
Réglage vertical automatique :
Prend en charge la fonctionnalité de levage automatique pour un
réglage de la hauteur pratique pendant le processus de mesure.
Article | Spécification |
---|---|
Alimentation | CA 220 V, 50 Hz, monophasé, 0,25 kW |
Tube rayons X | Cible en cuivre, refroidie par ventilateur, anode mise la terre |
Tension/courant maximum du tube | 30 kV / 5 mA (réglable en continu) |
Limite de courant recommandée | ≤ 2,0 mA (pour éviter les dommages et les risques de rayonnement) |
Type de détecteur | Compteur (max. CC 1000 V) ou détecteur scintillation (max. CC 1200 V) |
Constantes de temps | 2 niveaux : Rapide (1) / Lent (2) |
Angle d'orientation (θ) | 18,917° (18°55′00″) |
Obturateur rayons X | Automatique |
Affichage | Indicateur d'intensité du rayonnement |
Dimensions de la machine (L × l × H) | 1132 × 642 × 1460 mm |
Poids net | Environ 200 kg |
Ce système d'orientation par rayons X est idéal pour une utilisation dans la fabrication de cristaux semi-conducteurs, y compris le silicium, le saphir et les matériaux composites, où un alignement cristallographique précis est requis avant la découpe de plaquettes ou le traitement de surface. Il prend également en charge la recherche et le développement en science des matériaux et en ingénierie des cristaux.
Q1 : Quels types de cristaux sont compatibles avec cet
instrument d'orientation par rayons X ?
R1 : L'instrument est compatible avec une variété de matériaux
monocristallins tels que le silicium, le saphir, le SiC (carbure de
silicium), le GaN et d'autres semi-conducteurs composites. Il prend
en charge les diamètres de barres de 2, 4 et 6 pouces.
Q2 : L'instrument peut-il mesurer des orientations
cristallines autres que le plan ?
R2 : Oui, en plus du plan de référence (θ = 18,917°), le système peut être configuré pour mesurer d'autres
directions cristallographiques, telles que l'axe C ou l'axe R, en
fonction des exigences du client.
Q3 : Comment l'instrument est-il étalonné ?
R3 : L'étalonnage est effectué l'aide d'une barre cristalline standard
certifiée. Cela garantit la précision angulaire et la répétabilité
du système avant le traitement des échantillons de production.
Q4 : Le processus de mesure est-il automatique ou
manuel ?
R4 : Le système combine le placement et le réglage manuels avec des
fonctionnalités automatisées, notamment le contrôle automatique de
l'obturateur et le levage vertical, pour simplifier le
fonctionnement et améliorer l'efficacité.
Q5 : Quelles mesures de sécurité sont incluses pour gérer le
rayonnement des rayons X ?
R5 : L'instrument utilise un tube rayons X de faible puissance et
comprend des mesures de protection pour minimiser l'exposition. Les
utilisateurs doivent toujours utiliser l'équipement en suivant les
protocoles de sécurité standard en matière de rayonnement et éviter
de dépasser la limite de courant recommandée de 2,0 mA.
Q6 : Quelle maintenance est requise pour une utilisation long
terme ?
R6 : Le nettoyage régulier de la fixation et de la plateforme est
essentiel. Une inspection périodique du tube rayons X, des
détecteurs et des connexions électriques est également recommandée.
La durée de vie du tube rayons X peut être prolongée en
fonctionnant dans la plage de courant sûre.
Q7 : L'instrument peut-il être utilisé dans un environnement
de salle blanche ?
R7 : Oui, la conception compacte et la structure fermée le rendent
adapté aux applications en salle blanche, condition que la
manipulation et la maintenance appropriées soient respectées.
Q8 : La personnalisation est-elle disponible pour différentes
tailles ou orientations de cristaux ?
R8 : Oui, le système peut être personnalisé pour prendre en charge
différentes tailles de cristaux, des conceptions de fixations
spécialisées ou des angles d'orientation non standard sur demande.
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