Contrôleur liquide LVC 414 de vaporisateur de vapeur de l'ASM LVC414

Contrôleur liquide LVC 414 de vaporisateur de vapeur de l'ASM LVC414

Détails de produit

Le contrôleur électronique LVC-414 de vaporisateur a été exactement mesure et contrôle conçus

le taux d'écoulement de la masse (grammes/minute) de matériaux de dopage en variant l'écoulement du gaz porteur par a

barboteur contenant le matériau de base.

Les matériaux incluent SiCl4, SiHCl3, POCl13, GeCl4 et BBr3. L'autre boîte matérielle de dopage

aussi être commandé, condition que ils se vaporisent avec concentration appropriée pour précis

ratiodetection. Les gaz porteurs incluent H2, lui, N2, O2 et l'AR.

Trois sorties sont fournies :

Source (0 +5VDC).

Transporteur (0 +5VDC)

Rapport (0 +5VDC).

Ces sorties peuvent être surveillées avec n'importe quel voltmètre de C.C de 5 volts avec une sensibilité de 1000

ohms/volt ou plus. Une valve intégrée varie le taux d'écoulement de la masse de transporteur pour commander la source

le gramme/mn a choisi par une tension de contrôle externe.

Un petit paquet simple contient la section de débitmètre, détecteur de rapport, soupape de commande et

l'électronique

CARACTÉRISTIQUES

ÉCOULEMENT MINIMUM DE GAZ PORTEUR : 5% du maximum

ÉCOULEMENT MAXIMUM DE SOURCE : Jusqu' 40 grammes/mn de complet

GAMME DE PRESSION DE FONCTIONNEMENT : 10-40 différentiel de livre par pouce carré

PRESSION DE GAZ MAXIMUM : 60 psig

TEMPÉRATURE AMBIANTE DE GAZ ET DE TEMPÉRATURE AMBIANTE : 60-90°F (15-35°C) jusqu' 43°C sur la demande spéciale

RÉPONSE : 10 secondes moins de 4% de point de consigne

GAZ PORTEURS : Hydrogène, hélium, azote, oxygène ou argon, gaz mélangé

RÉPÉTABILITÉ : ± 0,5% de complet

SENSIBILITÉ DE PRESSION : ± 0,25% de complet pour des pressions de 10 40 Psid

EXACTITUDE ET LINÉARITÉS : ± 4,0% de complet sur la plage entière de fonctionnement

ARRANGEMENT DE COMMANDE : 0,1 5 volts continu

INDICATION DE SORTIE :

1. SOURCE : 0.1-5 volts continu linéairement de proportionnel au taux d'écoulement de la masse de liquide vaporisé

2. TRANSPORTEUR : 0.1-5 volts continu linéairement de proportionnel au taux d'écoulement de la masse de gaz porteur

3. RAPPORT : 0.1-5 volts continu linéairement de proportionnel au rapport de l'écoulement de vapeur (SCCM) l'écoulement de transporteur

(SCCM) a mesuré avec 5 volts continu = 50%

IMPÉDANCE DE SORTIE : 10 ohms de maximum

ONDULATION : 50 système mv pp maximum

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Email : miya@mvme.cn

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