cibles de pulvérisation de molybdène de 20mm pour les produits de molybdène de disque de molybdène de cible de molybdène d'industrie de semi-conducteur

Cibles de pulvérisation de molybdène pour l'industrie de semi-conducteur

1. Description des cibles de pulvérisation de molybdène pour l'industrie de semi-conducteur :

Le molybdène est un métal réfractaire souple avec des qualités mécaniques exceptionnelles, un bas coefficient d'expansion, la conduction thermique forte, et la conductivité électrique particulièrement élevée températures élevées. Il y a de nombreuses combinaisons qui peuvent être employées en tant que cibles de pulvérisation, y compris les cibles pures de molybdène, les cibles titaniques de molybdène, les cibles de tantale de molybdène, et les cibles d'alliage de molybdène (telles que le plat de TZM).

Les matériaux ont employé pour des semi-conducteurs incluent les cibles pures en métal telles que le tungstène, le molybdène, le niobium, le titane, et le silicium, en plus aux substances comme des oxydes ou des nitrures. Aussi crucial comme paramètres d'emploi de dépôt que les ingénieurs et les scientifiques parfaits dans tout le processus de revêtement sont la procédure de sélection matérielle.

2. Taille des cibles de pulvérisation de molybdène pour l'industrie de semi-conducteur :

Épaisseur : <20mm>

Diamètre : <300mm>

Surface : Poli

Norme : ASTM B386

L'autre taille peut être traitée selon le dessin du client.

3. Contenu chimique des cibles de pulvérisation de molybdène pour l'industrie de semi-conducteur :

5. caractéristiques des cibles de pulvérisation de molybdène pour l'industrie de semi-conducteur :

Le revêtement pulvérisé adhère aux techniques que conventionnelles meilleures de dépôt de substrat, et les matériaux avec les températures très de fusion élevée, comme le molybdène et le tungstène, sont très simples pour pulvériser. En plus, tandis que l'évaporation peut seulement être faite du fond pour compléter, la pulvérisation peut être faite de deux manières.

Les cibles de pulvérisation sont fréquemment arrondies ou rectangulaires, bien qu'il y ait également des options carrées et triangulaires disponibles. Le substrat est l'article qui doit être enduit, et il pourrait être quelque chose des piles solaires aux composants optiques aux gaufrettes de semi-conducteur. Le revêtement s'étend typiquement dans l'épaisseur des angströms aux microns. La membrane peut se composer d'un matériel simple ou de plusieurs matériaux empilés dans les couches.

Grandes propriétés de pureté, haute densité, fines, et cohérentes de grain sont présentes dans des cibles de pulvérisation de molybdène, ayant pour résultat l'efficacité extrêmement élevée de pulvérisation, l'épaisseur de film homogène, et une surface de gravure l'eau-forte propre dans tout le processus de pulvérisation.

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