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MTCS-2601 Capteur de microconductivité thermique pour la détection de gaz
Applications
Les applications sont le contrôle de processus industriels
primaires (mélange binaire), l'horticulture et le
stockage des denrées alimentaires (CO2), sécurité (surveillance du
CO2, alarme incendie, H2), moteur gaz naturel ou moteur hydrogène
pleine pile,
Ce type de dispositif est également utilisé pour la détection des
fuites ainsi que pour la détection des
capteur de pression pour le contrôle primaire du vide selon le
principe de Pirani.
Caractéristiques
• Principe de détection physique MEMS robuste sans réaction
chimique, basé sur
Variation de la conductivité thermique des gaz
• Plage de mesure allant de 100 ppm 100% selon l'application et
la conductivité thermique du gaz
• Aucun réactif chimique, signal linéaire avec concentration sans
hystérésis
• Compensation de température avec une excellente correspondance de
la compensation et de la température
résistances de chauffage sur la même matrice en silicium
• Volume de gaz du capteur ultra-petit tel que < 0,1 cm3
• MTBF robuste et long en raison des principes de détection
résistive physique,
survie au choc (> 1000 G)
• Consommation de puissance ultra-faible du capteur en
fonctionnement (< 8 mW) due l'utilisation de
Capteur en silicium basé sur MEMS avec de grandes résistances
intégrées telles que 250 Ohms
et une petite masse chauffée.
• Temps de réponse ultra rapide < 50 ms avec une large bande
passante électronique
Résistance de mesure | 110 135Ω |
Résistance de référence | 240 300Ω |
Ratio | 2 2.35 |
Coefficient thermique de la résistance | 0.0045-0.0055/K |