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Le four de dépôt sous vide est utilisé pour la préparation de matériaux composites carbone-carbone,et le four de dépôt est principalement utilisé pour la préparation d'un revêtement pyrolytique de carbone sur la surface du graphite, des dispositifs semi-conducteurs et des matériaux de nettoyage résistants la chaleur.
Le champ d'application:
Graphite, dispositifs semi-conducteurs, matériaux de nettoyage résistants la chaleur.
1Paramètres de base:
1) Température de conception: 1250°C/1650°C/1800°C/2200°C
2) Température commune: 900 1200°C
3) degré de vide: < 50 Pa
4) Taux d'augmentation de pression: 6,67 pA/h (ou 150 Pa/24h) froid dans un four vide
5) Mode de chauffage: chauffage par résistance au graphite ou chauffage par induction, contrôle indépendant de la température, bonne uniformité de la température
6) Moyen atmosphérique: vide /CH4/C3H6/H2/N2/Ar
7) Mode de commande du gaz: commande du débitmètre de masse, voie de gaz multicanal, champ de débit uniforme, pas d'angle mort de dépôt, bon effet de dépôt;
Système de traitement des gaz d'échappement plusieurs étapes et efficace, respectueux de l'environnement, facile nettoyer;
8) Type de four: structure carrée, ronde, verticale ou horizontale (conception non standard), chambre de dépôt entièrement fermée, bon effet d'étanchéité, forte capacité antipollution;
9) Mode de refroidissement du four: refroidissement par eau de la coque du four, système de refroidissement rapide circulation externe, temps de refroidissement court, efficacité de production élevée;
2. Structure du four de dépôt sous vide:
Forme de la structure: décharge horizontale - latérale, verticale - décharge vers le haut/vers le bas
Mode de verrouillage de la porte du four: manuel/automatique
Matériau de la coque du four: acier inoxydable intérieur/tout acier inoxydable
Matériau isolant: feutre de carbone/feutre de graphite/feutre de fibre de carbone durci
Matériau du chauffe-eau et de la muffle: graphite/CFC
Instrument infrarouge: monocolorimétrique/double colorimétrique
Énergie: KGPS/IGBT ((uniquement adapté au chauffage moyenne fréquence)
Spécification du produit:
Paramètre/numéro de modèle | JT-0305-C | JT-0505-C | JT-0608-C | Le numéro de référence est le numéro d'immatriculation. | Le numéro de téléphone est le numéro de téléphone de l'entreprise. | JT-1120-C | JT-1218-C | JT-1520-C |
Taille de la zone de travail φ × H ((mm) | 300 × 500 | 500 × 500 | 600 × 800 | 600 × 1200 | 800×1200 | 1100 × 2000 | 1200 × 1800 | 1500 × 2000 |
Température maximale (°C) | 2300 | 2300 | 2300 | 2300 | 2300 | 2300 | 2300 | 2300 |
Uniformité de température ((°C) | ± 5 | ± 5 | ± 5 ± 7.5 | ±7,5 ou ±10 | ±7,5 ou ±10 | ±10/±15 | ±10/±15 | ± 15 ou ± 20 |
Définition de l'équipement | 1 100 | 1 100 | 1 100 | 1 100 | 1 100 | 1 100 | 1 100 | 1 100 |
Taux de hausse de pression (Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
Méthode de chauffage |
Résistance/induction | Résistance/induction | Résistance/induction | Résistance/induction | Résistance/induction | Résistance/induction | Résistance/induction | Résistance/induction |