Céramique d'aluminium de haute pureté avec une résistivité volumique de 10 4 Ohm*cm pour les applications dans les semi-conducteurs

Céramique d'alumine de haute pureté avec une résistivité volumique de 10⁴ Ohm*cm pour les applications en semi-conducteurs

Cette série de composants en céramique d'alumine spécifiques aux semi-conducteurs est fabriquée partir d'un matériau Al₂O₃ de haute pureté 99,6 % grce des procédés de coulée sur bande de précision et de frittage haute température. Les produits présentent une excellente isolation, une résistance la corrosion et une stabilité dimensionnelle, répondant aux exigences de propreté de la norme SEMI F47.

Principales applications en semi-conducteurs

• Fabrication de plaquettes : pièces en céramique pour machines de gravure, barquettes de diffusion

• Conditionnement et tests : substrats de cartes de sondes, supports de test

• Composants d'équipement : effecteurs d'extrémité de robot

• Systèmes vide : bases de mandrins électrostatiques

• Inspection optique : guides en céramique pour machines de lithographie

Avantages du produit

✓ Ultra-propre : teneur en ions métalliques <0,1 ppm
✓ Dimensions de précision : Tolérance ±0,05 mm/100 mm
✓ Résistance au plasma : Taux de gravure <0,1 μm/h
✓ Faible dégazage : TML <0,1 % CVCM <0,01 %
✓ Haute fiabilité : Passe 1000 cycles thermiques

Spécifications techniques

Processus de fabrication des semi-conducteurs

1. Préparation du matériau :

   • Poudre d'Al₂O₃ de qualité nano (D50≤0,5μm)

   • Broyage boulets de haute pureté (adjuvants de frittage Y₂O₃-MgO)

2. Procédé de formage :

   • Coulée sur bande (épaisseur 0,1-5 mm)

   • Pressage isostatique (200 MPa)

3. Contrôle du frittage :

   • Frittage en atmosphère multi-étapes (1600°C/H₂)

   • Post-traitement HIP (1500°C/150MPa)

4. Usinage de précision :

   • Traitement laser (±5μm)

   • Perçage ultrasonique (rapport d'aspect 10:1)

5. Nettoyage et inspection :

   • Nettoyage méga-sonique (salle blanche de classe 1)

   • Tests de particules SEMI F47

Consignes d'utilisation

⚠ Stockage : Emballage propre de classe 100
⚠ Environnement d'installation : 23±1°C HR45±5 %
⚠ Nettoyage : Solvants de qualité semi-conducteur uniquement
⚠ Manipulation : Éviter le contact direct avec les surfaces fonctionnelles

Services pour les semi-conducteurs

• Vérification de la propreté : rapports de test VDA19

• Analyse des défaillances : microanalyse SEM/EDS

• Développement personnalisé : co-conception DFM

FAQ

Q : Comment garantir la propreté de la surface de contact des plaquettes ?
R : Triple protection :
① Activation de surface par plasma
② Emballage sous vide + stockage N₂
③ Nettoyage l'air ionisé avant l'installation

Q : Performance dans le plasma base de fluor ?
R : Version traitée spéciale :
• Taux de gravure <0,05μm/h
• Couche de passivation AlF₃
• Durée de vie 3 fois plus longue

Q : Taille maximale traitable ?
R : Standard 200×200 mm, procédé spécial jusqu' 400×400 mm.

Nous sommes une entreprise avec de nombreuses années d'expérience dans la production de céramiques spéciales de précision et la capacité de concevoir, fabriquer,transformation et vente de pièces structurelles et fonctionnelles de diverses céramiques de précision spéciale.

Deyu Precision Ceramics Technology Co., Ltd. possède de nombreuses années d'expérience dans la production de céramiques spéciales de précision et est capable de concevoir, de fabriquer,transformation et vente de pièces structurelles et fonctionnelles de diverses céramiques de précision spéciale l'heure actuelle, la société dispose d'équipements de production et de traitement tels que presse sec, presse isostatique, four expérimental, four plat, centre d'usinage, broyeur de surface,broyeur universel interne et externe, broyeur sans centre et machine de découpe laser, ainsi que des équipements complets d'essai de haute précision tels que le projecteur de haute précision, le testeur tridimensionnel, le microscope métallographique,avec un débit de roulement inférieur ou égal 50 W.

Avec une technologie de production avancée et des installations complètes,L'entreprise est l'une des rares entreprises nationales pouvoir produire des pièces structurelles en céramique de précision spéciale et des pièces fonctionnelles avec une précision d'usinage inférieure 2 microns., et possède une forte compétitivité de base dans la même industrie en Chine.

Avantages de l'entreprise: 1. entreprises nationales de nouvelles technologies; 2. l'entreprise dispose d'un centre municipal de R & D; 3. la coopération avec les universités nationales clés et les instituts de recherche; 4. conception, moulage,Les produits couvrent l'alumine, le zirconium, le nitrure de silicium, le carbure de silicium et d'autres céramiques de précision.

L'entreprise a toujours été en position de résoudre les problèmes des clients, en se concentrant sur le principe de qualité et de délai de livraison, en adhérant la philosophie d'entreprise de "intégrité,l'innovation et le réconfort", et sincèrement impatient de coopérer avec vous.