GS600SW Machine de distribution au niveau de la galette RDL Première application WLP CUF pour le sous-remplissage de la forme de la galette
Numéro de modèle:Pour les véhicules à moteur
Lieu d'origine:Chine
Quantité minimale de commande:1
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Délai de livraison:5 à 60 jours
Détails de l'emballage:D'autres
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Changzhou Jiangsu China
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N° 18-98, Changwu Middle Road, district de Wujin, ville de Changzhou, province du Jiangsu
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Détails du produit
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Détails du produit
SS101Des plaquettes-Le niveau Distribution Machines et appareils
Pour le sous-remplissage sous forme de gaufre
SS101 est un système de distribution de niveau de gaufre très stable et précis qui a été développé sur la base des exigences du processus de remplissage RDL First WLP.
L'équipement répond aux besoins de l'industrie des semi-conducteurs, peut être équipé d'un système automatique de chargement et de déchargement des plaquettes, et peut réaliser automatiquement des fonctions telles que la manutention des plaquettes,l' alignementIl est compatible avec les protocoles internationaux de communication par semi-conducteurs.Il est équipé d'une interface robot AMHS de chargement et de déchargement automatique pour correspondre la
les exigences en matière de gestion de l'information et les
tendances en matière de gestion sans pilote.
SS101 Mise en page du système
L'alignement
Station de numérisation de codes QR
¢ station de préchauffage
¢ station de dissipation de chaleur
Station de travail de la machine distribuer GS600SWB Station de travail de la machine distribuer
Module de manipulation du robot
Composition du système de distribution niveau de gaufre SS101
- GS600SW machine de distribution au niveau des plaquettes × 2
- PC101 machine de chargement et de déchargement de plaquettes × 1
Champs d'application
- RDL Première WLP
- Application de la FCE
SS101 Flux d'exploitation de distribution au niveau des plaquettes
Caractéristiques et avantages
- Prend en charge la distribution de galettes de 8/12 pouces.
- Niveau 10 d'étanchéité la poussière, répondant aux exigences environnementales des emballages de niveau wafer.
- La protection contre les DSE répond aux normes internationales CEI et ANSI.
- Dans l'ensemble du processus de rotation et de fonctionnement des plaquettes, la température est contrôlée avec précision et corrigée automatiquement pour répondre aux exigences du processus CUF tout en assurant la sécurité du produit.
- La surveillance vidéo de l'ensemble du processus facilite le chiffre d'affaires des produits, l'observation du processus d'exploitation et le suivi et l'analyse des problèmes
Spécifications techniques
| Système SS101 | La machine de traitement des plaquettes PC101 (EFEM) | |
| Champs d'application | RDL Première WLP, CUFApplication | |
| Niveau de propreté | Propreté de la zone de travail | Classe 100 (atelier de classe 1000) Classe 10 (atelier de classe 100) |
Domaines d'application du produit | Support pour la taille de la gaufre | Les pièces d'un type ou d'un type de véhicule ne doivent pas être utilisées pour le transport de marchandises. (Le modèle standard prend en charge uniquement les plaquettes de 12 pouces) |
| Support pour l'épaisseur de la gaufre | 300 2550 μm | |
| Plage maximale admissible de déformation de la gaufre | < 5 mm (selon le type de doigt de robot) | |
| Poids maximal admissible de la plaque | 600 g (selon le type de doigt robotisé) | |
| Forme de cassette en gaufre | 8 pouces Cassette ouverte, 12 pouces Foup (le modèle standard prend en charge les plaquettes de 12 pouces uniquement) | |
Les produits doivent être présentés dans un emballage de qualité supérieure. | Méthode de chargement et de déchargement | Port de chargement + robots |
| Pré-alignement de précision | Déviation de correction du centre ronde≤±0,1 mm; déviation de correction de l'angle≤±0,2 ° | |
| Lecteur de gaufres | Prend en charge les polices SEMI (surfaces plates ou concaves/convexes), les polices non SEMI | |
| Plage de température de préchauffage | Température ambiante ~ 180°C | |
| Méthode de refroidissement des plaquettes | Refroidissement naturel ou refroidissement par air | |
Système de distribution de mouvement | Mécanismes de transmission | X/Y: Moteur linéaire Z: Servo-moteur et module vis |
| Répétabilité | Le système d'échantillonnage doit être équipé d'un dispositif d'échantillonnage. | |
| Précision de positionnement | X/Y: ± 10 μm | |
| Max. vitesse de déplacement | Le système d'échantillonnage doit être équipé d'un dispositif d'échantillonnage. | |
| Max. vitesse accélérée | X/Y: 1 g Z: 0,5 g | |
Système de vision | Pixels de la caméra | 130 W |
| Précision de la reconnaissance | ± 1 pixel | |
| Plage de reconnaissance | 12 × 16 mm< 19,2 × 25,6 mm | |
| Source lumineuse | Source lumineuse tricolore combinée rouge, vert, blanc + rouge | |
| Système d'étalonnage de la pesée | Précision de la pesée | 00,01 mg |
Plateau de chargement chuck | Déviation de la planéité de la surface sous vide | ≤ 3 0 μm |
| Plage de température de chauffage | Température ambiante ~ 180°C | |
| Déviation de la température de chauffage | ≤ ± 1,5 °C | |
| Répétabilité de la hauteur de levage | ± 10 μm | |
| Pression d'aspiration sous vide | -70 85 Kpa réglable | |
Les installations | L'empreinte (W*D*H) | 3075×2200×2200 mm (affichage déplié) |
| Le poids | 2.9t | |
| Énergie électrique | L'alimentation électrique tension d'adaptation phase unique | |
| Courant électrique | Le numéro de série | |
| Le pouvoir | 16.5 kW | |
| Inhalez | (0,5 MPa, 450 L/min) × 5 façons | |
| Température ambiante de fonctionnement. | 23°C ± 3°C | |
| Humidité relative de l'environnement de travail | 30 70% | |
GS600SW Machine de distribution au niveau de la galette RDL Première application WLP CUF pour le sous-remplissage de la forme de la galette
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