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1,Définition:
Matériau: Les matériaux cibles pour le tungstène sont généralement fabriqués partir de tungstène ou d'alliages de tungstène de haute pureté, spécialement conçus pour une utilisation dans les processus de dépôt physique de vapeur (PVD).
Point de fusion élevé: le tungstène a un point de fusion exceptionnellement élevé d'environ 3422 degrés Celsius (6,191 degrés Fahrenheit),permettant de résister aux températures élevées générées par les procédés PVD.
Densité: Les matériaux cibles au tungstène ont une densité élevée, généralement comprise entre 17,8 et 19,3 grammes par centimètre cube (g/cm3), ce qui garantit un taux de dépôt élevé et une utilisation efficace des matériaux.
2,Les spécifications:
| Matériel | D'une pureté supérieure ou égale celle du tungstène ou des alliages de tungstène |
| Point de fusion | Environ 3422 degrés Celsius |
| Densité | 17.8 - 19,3 grammes par centimètre cube (g/cm3) |
| Conductivité thermique | Excellente conductivité thermique |
| Taux de pulvérisation | Taux de pulvérisation relativement faible, perte minimale de matière |
| La pureté | Niveaux élevés de pureté, impuretés minimes |
| L'uniformité | Dimensions précises et homogénéité pour un dépôt de film cohérent |