Composants de carbure de silicium de haute précision pour les processus de semi-conducteur et l'équipement optique de machines
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Composants de carbure de silicium de haute précision pour
processus de semi-conducteur et équipement optique de machines
Le bras robotique de carbure de silicium est constitué par le processus pressant isostatique et l'agglomération température élevée. Selon les conditions des dessins d'étude de l'utilisateur, la taille, l'épaisseur et la forme peuvent être de finition pour répondre aux exigences spécifiques de l'utilisateur.
Applications typiques
- Utilisé pour la transmission de gaufrette dans divers processus de fabrication de semi-conducteur.
Caractéristiques et avantages
- Taille précise et stabilité thermique
- La rigidité spécifique élevée et l'excellente uniformité thermique, utilisation long terme n'est pas facile de plier la déformation ;
- La gaufrette a une surface douce et une bonne résistance l'usure, permettant la manipulation sûre de la gaufrette sans contamination de particules.
- Carbure de silicium de résistivité de PS de ® de Coresic dans 106-108 Ω, non magnétiques, Accord avec la condition normative de la résistance d'ESD ; Elle empêche l'électricité statique de s'accumuler sur la surface de la gaufrette.
- Bonne conduction thermique, bas coefficient d'expansion.
Caractéristiques
- Selon les dessins du client, nous pouvons traiter différentes formes et tailles des bras.
Le mandrin de vide de carbure de silicium est constitué par le processus pressant isostatique et l'agglomération température élevée. Selon les conditions des dessins d'étude de l'utilisateur, la taille, l'épaisseur et la forme peuvent être de finition pour répondre aux exigences spécifiques de l'utilisateur.
Applications typiques
la fabrication de semi-conducteur, des gaufrettes extrêmement minces sont placées sur des surgeons de vide de carbure de silicium, reliés un générateur de vide, et les gaufrettes sont fixées par aspiration de vide.
Utilisé en lithographie, gravure l'eau-forte, laser traitant, essai de gaufrette et d'autres processus.
Caractéristiques et avantages
Taille précise et stabilité thermique
Bonne conduction thermique, bas coefficient d'expansion et uniformité de la température
Extrêmement haut la résistance l'usure et la finition de surface, taille fine de pore et distribution d'uniforme, peut être uniformément adsorbée tous les secteurs de la gaufrette
Excellente résistance la corrosion d'acide et d'alcali
Résistance l'impact de plasma
Caractéristiques
Peut être adapté aux besoins du client selon le traitement de dessins de client.
Composants de carbure de silicium de haute précision pour les processus de semi-conducteur et l'équipement optique de machines
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