Standard de l'industrie des semi-conducteurs

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Le système de décharge électrostatique (ESK)

 

Le chuck électrostatique est une technologie avantageuse qui utilise l'adsorption électrostatique pour remplacer les méthodes traditionnelles de serrage mécanique et d'adsorption sous vide.et a de larges applications dans des domaines tels que les semi-conducteurs, panneaux d'affichage et optique.

 

Les avantages

  • Consistance de traitement élevée Haute résistance mécanique
  • Forte résistance l'érosion du plasma
  • Personnalisable

 

 

 

 

 

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