Les plateaux Sic en carbure de silicium comme support de gaufre pour le processus de gravure ICP dans l'industrie LED

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Les plateaux en carbure de silicium, comme support de gaufre pour le processus d'incision ICP dans l'industrie LED


Le carbure de silicium (SiC) est un matériau qui a une excellente conductivité thermique, une résistance la corrosion et une faible expansion thermique.Les plateaux en carbure de silicium présentent une excellente résistance la corrosionNous fournissons de nombreuses tailles de plateaux de carbure de silicium ainsi que d'autres produits SiC.


Propriétés des matériaux:

Processus de fabrication:


Propriétés des plateaux de carbure de silicium

Formule composéeSiC
Poids moléculaire40.1
ApparenceNoir
Point de fusion2,730° C (4,946° F) (décompose)
Densité30,0 3,2 g/cm3
Résistance électrique1 4 10x Ω-m
Ratio de Poisson0.15 contre 0.21
Température spécifique670 1180 J/kg-K


Spécifications du plateau de carbure de silicium

Le typeSiC recristalliséSiC sintréSiC lié par réaction
Pureté du carbure de silicium990,5%98%> 88%
Max. Temps de travail.165015501300
Densité en vrac (g/cm3)2.73.1> 3
Apparence Porosité< 15%2.50.1
Résistance la flexion (MPa)110400380
Résistance la compression (MPa)> 30022002100
Expansion thermique (10^-6/`C)4.6 (1200 ̊C)4.0 (< 500 ̊C)4.4 (< 500 ̊C)
Conductivité thermique (W/m.K)35 3611065
Principales caractéristiquesHaute température, haute résistance.
Haute pureté
Dureté de la fractureRésistance chimique


Exigence de caractéristique:

  1. Excellente conductivité thermique
  2. Résistant au choc plasma
  3. Bonne homogénéité de température


Applications des plateaux de carbure de silicium

- Le carbure de silicium peut être appliqué dans des domaines tels que les semi­conducteurs et les revêtements.
- Nos plateaux en carbure de silicium sont largement utilisés dans l'industrie des LED.

Emballage du carbure de silicium

Nos plateaux en carbure de silicium sont soigneusement manipulés pour minimiser les dommages pendant le stockage et le transport et pour préserver la qualité de nos produits dans leur état d'origine.


Contrôle de la qualité:


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