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Gaufrette de tantalate de lithium de semi-conducteurs composés utilisée pour les circuits optiques, dispositifs de SCIE
Les semi-conducteurs composés sont les semi-conducteurs composés de plus de deux éléments chimiques. La gaufrette du tantalate de lithium (LiTaO3) est employée pour plusieurs circuits optiques, particulièrement dispositif d'onde acoustique extérieure (SCIE). En raison de la lithographie dans le processus de dispositif de SCIE, le polissage LiTaO3 est nécessaire. En ce document, les boues commerciales (NALCO2371^ (TM), ILD1300^ (TM), boue de ceria) utilisées pour le polissage mécanique chimique (CMP) ont été examinées, et la boue la plus appropriée ont été choisies en mesurant le taux matériel de retrait et la rugosité moyenne de ligne centrale (Ra).
Diamètre | Orientation | Épaisseur | Appartement primaire | Matériel | Marque /Grade |
76.2±0.2mm | coupe 36°Y | 0.5±0.025mm | 22±2mm | LiTaO3 | SCIE |
76.2±0.2mm | coupe 36°Y | 0.5±0.025mm | 22±2mm | LiTaO3 réduit | SCIE |
76.2±0.2mm | coupe 42°Y | 0.5±0.025mm | 22±2mm | LiTaO3 | SCIE |
76.2±0.2mm | coupe 42°Y | 0.5±0.025mm | 22±2mm | LiTaO3 réduit | SCIE |
76.2±0.2mm | Coupe de X-112°Y | 0.5±0.025mm | 22±2mm | LiTaO3 | SCIE |
76.2±0.2mm | Coupe de X-112°Y | 0.5±0.025mm | 22±2mm | LiTaO3 réduit | SCIE |
76.2±0.2mm | Coupe de X | 0.5±0.025mm | 22±2mm | LiTaO3 | Optique |
100±0.2mm | coupe 36°Y | 0.5±0.025mm | 32±2mm | LiTaO3 | SCIE |
100±0.2mm | coupe 36°Y | 0.5±0.025mm | 32±2mm | LiTaO3 réduit | SCIE |
100±0.2mm | coupe 42°Y | 0.5±0.025mm | 32±2mm | LiTaO3 | SCIE |
100±0.2mm | coupe 42°Y | 0.5±0.025mm | 32±2mm | LiTaO3 réduit | SCIE |
100±0.2mm | Coupe de X-112°Y | 0.5±0.025mm | 22±2mm | LiTaO3 | SCIE |
100±0.2mm | Coupe de X-112°Y | 0.5±0.025mm | 22±2mm | LiTaO3 réduit | SCIE |
100±0.2mm | Coupe de X | 0.5±0.025mm | 22±2mm | LiTaO3 | Optique |
Formule chimique | LiTaO3 |
La masse molaire | 235,887 g/mol |
Densité | 7,46 g/cm3, solides |
Point de fusion | 1,650°C (3,000°F ; 1,920K) |
Hydrosolubilité | Insoluble |
Structure cristalline | R3c |
Treillagez constant | = des 515,43 P.M., c = 1378,35 P.M. |
FAQ :
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: Les produits de gaufrette sont fragiles et parfois chers. La dernière chose, comme le fabricant, nous voulons voir est les produits que nous faisons avons été endommagés pendant le messager. En conséquence, nous emballerons les gaufrettes en juste proportion et les mettrons dans un carton approprié rempli d'éponge de tampon. Cependant, les accidents sont inévitables parfois. Ainsi, suivez svp les étapes « de contrôle d'acceptation » montrées dans les dessins ci-dessous. Si produit non désiré, nous donnera le remplissage ou le remboursera si vous suivez les étapes de vérification.
Contrôle d'acceptation