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Machine de revêtement par pulvérisation magnétron DC et MF, solutions de revêtement PVD noir profond
Revêtement de pulvérisation magnétron
Revêtement plasma
La pulvérisation magnétron est un processus de revêtement au plasma dans lequel le matériau de pulvérisation est éjecté en raison du bombardement d'ions sur la surface cible.La chambre à vide de la machine de revêtement PVD est remplie d'un gaz inerte, tel que l'argon.En appliquant une haute tension, une décharge luminescente est créée, entraînant une accélération des ions vers la surface cible et un revêtement de plasma.Les ions argon éjecteront les matériaux de pulvérisation de la surface cible (pulvérisation), résultant en une couche de revêtement pulvérisée sur les produits devant la cible. La technologie de pulvérisation magnétron se caractérise par :
| MAQUETTE | RTAC1250-SPMF | ||||||
| LA TECHNOLOGIE | Pulvérisation magnétron MF + placage ionique | ||||||
| MATÉRIEL | Acier inoxydable (S304) | ||||||
| TAILLE DE LA CHAMBRE | Φ1250 * H1250mm | ||||||
| TYPE DE CHAMBRE | Cylindre, vertical, 1 porte | ||||||
| SYSTÈME DE PULVÉRISATION | Conception exclusive pour le dépôt d'un film noir fin | ||||||
| MATÉRIEL DE DÉPÔT | Aluminium, argent, cuivre, chrome, acier inoxydable, Nickel |
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| SOURCE DE DÉPÔT | 2 ensembles de cibles de pulvérisation cylindriques MF + 8 sources d'arc cathodique dirigées + source d'ions en option | ||||||
| GAZ | MFC- 4 voies, Ar, N2, O2, C2H2 | ||||||
| CONTRÔLER | PLC (contrôleur logique programmable) + | ||||||
| SYSTÈME DE POMPE | SV300B - 1 jeu (Leybold) | ||||||
| WAU1001 - 1 jeux (Leybold) | |||||||
| D60T-1 jeu (Leybold) | |||||||
| Pompes Turbo Moléculaires : 2* F-400/3500 | |||||||
| PRÉ-TRAITEMENT | Alimentation de polarisation : 1*36 KW | ||||||
| SYSTÈME DE SÉCURITÉ | Nombreux verrouillages de sécurité pour protéger les opérateurs | ||||||
| REFROIDISSEMENT | Eau froide | ||||||
| PUISSANCE ÉLECTRIQUE | 480V/3 phases/60HZ (conforme aux États-Unis) | ||||||
| 460V/3 phases/50HZ (conforme à l'Asie) | |||||||
| 380V/3 phases/50HZ (conforme EU-CE) | |||||||
| EMPREINTE | L3000*W3000*H2000mm | ||||||
| POIDS TOTAL | 7.0T | ||||||
| EMPREINTE | (L*W*H) 5000*4000 *4000 MM | ||||||
| TEMPS D'UN CYCLE | 30 ~ 40 minutes (selon le matériau du substrat, géométrie du substrat et conditions environnementales) |
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| PUISSANCE MAX.. | 155KW | ||||||
| PUISSANCE MOYENNE CONSOMMATION (ENVIRON) |
75KW |
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