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4H-N Grade d'essai 6 pouces de diamètre 150 mm carbure de silicium sous-strats à cristal unique (sic) plaquettes, lingots de cristal sicune teneur en dioxyde de dioxyde de carbone inférieure ou égale à 50%Wafer en cristal de carbure de silicium/Wafer sur mesure en silicone coupé
Le carbure de silicium (SiC), également connu sous le nom de carborundum, est un semi-conducteur contenant du silicium et du carbone avec la formule chimique SiC.Le SiC est utilisé dans les appareils électroniques à semi-conducteurs fonctionnant à haute température ou à haute tensionSiC est également l'un des composants importants des LED, c'est un substrat populaire pour la culture des appareils GaN et il sert également de diffuseur de chaleur dans les LED haute puissance
4 pouces de diamètre de carbure de silicium (SiC) Spécification du substrat
Grade |
Niveau de production de MPD zéro (Classe Z) |
Grade de production (Classe P) |
Grade de factice (grade D) |
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Diamètre |
990,5-100 mm |
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Épaisseur |
4H-N |
350 μm±25 μm |
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4H-SI |
500 μm±25 μm |
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Orientation de la gaufre |
À l'extérieur de l'axe: 4,0° vers le bas 1120 > ± 0,5° pour 4H-N Sur l'axe : <0001> ± 0,5° pour 4H-SI |
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Densité des micropipes |
4H-N |
≤0.5 cm- Deux. |
≤2 centimètres- Deux. |
≤15 cm- Deux. |
4H-SI |
≤1 cm- Deux. |
≤5 centimètres- Deux. |
≤15 cm- Deux. |
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Résistance |
4H-N |
00,015 à 0,025 Ω·cm |
00,015 à 0,028 Ω·cm |
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4H-SI |
≥1E7 Ω·cm |
≥1E5 Ω·cm |
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Le premier appartement |
{10-10} ± 5,0° |
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Longueur plate primaire |
32.5 mm±2,0 mm |
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Longueur plate secondaire |
18.0 mm±2,0 mm |
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Orientation à plat secondaire |
Sicile face vers le haut: 90° CW. de la plaine principale ±5,0° |
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Exclusion des bords |
2 mm |
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LTV/TTV/Bow/Warp |
≤4 μm/≤10 μm /≤25 μm /≤35 μm |
≤10 μm/≤15 μm /≤25 μm /≤40 μm |
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Roughness (graisseuse) |
Ra polonais≤1 nm |
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CMP Ra≤0.5 nm |
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Les fissures dues à la lumière de haute intensité |
Aucune |
Longueur cumulée≤10 mm, longueur unique ≤2 mm |
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Plaques hexagonales par haute intensité lumineuse |
Surface cumulée≤00,05 pour cent |
Surface cumulée≤00,1% |
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Zones de polytypes par intensité lumineuse |
Aucune |
Surface cumulée≤3% |
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Inclusions de carbone visuel |
Surface cumulée≤00,05 pour cent |
Surface cumulée≤3% |
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Écorchures par la lumière de haute intensité |
Aucune |
Longueur cumulée≤1×diamètre de la gaufre |
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Puce de bordure |
Aucune |
5 est autorisé,≤1 mm par pièce |
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Contamination par la lumière à haute intensité |
Aucune |
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Emballage |
Cassette à plaquettes multiples ou récipient à plaquette unique |
Nom de l'entreprise:
* Les limites de défauts s'appliquent à l'ensemble de la surface de la gaufre, à l'exception de la zone d'exclusion des bords.
Type 4H-N / plaquette SiC de haute pureté/ingots
Wafer SiC de type N de type 4H de 2 pouces/ingots
Wafer SiC de type N 4H de 3 pouces Plaquettes SiC de type N de type 4H de 4 pouces ou lingots Wafer SiC de type N de 6 pouces 4H/ingots |
4H semi-isolateur / haute puretéWafer au SiC Wafer SiC semi-isolateur de 2 pouces 4H
Wafer SiC semi-isolateur de 3 pouces 4H Wafer SiC semi-isolant de 4 pouces et 4H Wafer SiC semi-isolateur de 6 pouces 4H |
Wafer SiC de type N 6H
Wafer SiC de type N 6H de 2 pouces/ingot |
Taille personnalisée pour 2-6 pouces
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Mots clés: plaquette de silicone, plaquette de carbure de silicium, plaquette factice de première qualité