SHANGHAI FAMOUS TRADE CO.,LTD
LE COMMERCE CÉLÈBRE CIE., LTD DE CHANGHAÏ
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les couches minces de niobate de lithium de gaufrette de 2inch 3inch 4inch LNOI LiNbO3 posent sur le substrat de silicium
(1) Ion Implantation : La machine d'implantation ionique est utilisée pour le conduire de grande énergie des ions par l'extrados du cristal de niobate de lithium. Quand il des ions avec de l'énergie spécifique entrent dans le cristal, ils seront obstrués par des atomes et des électrons dans le cristal de LN et graduellement ralentir et rester à une position spécifique de profondeur, détruisant la structure cristalline près de cette position et coupant le cristal de LN en couches supérieures et inférieures d'A/B. Et la zone A va être la couche mince que nous devons faire LNOI.
(2) préparation de substrat : Pour faire des gaufrettes de niobate de lithium de la couche mince, il n'est certainement pas possible de laisser des centaines de couches minces du nanomètre LN dans un état suspendu. Des matériels de support étant à la base sont exigés. En gaufrettes communes de SOI, le substrat est une couche de gaufrettes de silicium avec une épaisseur de plus que 500um, et alors la couche SiO2 diélectrique est préparée sur la surface. En conclusion, la couche mince de silicium monocristallin est collée sur l'extrados pour former des gaufrettes de SOI. Quant aux gaufrettes de LNOI, le SI et les LN sont les substrats utilisés généralement, et alors la couche SiO2 diélectrique est préparée par le processus thermique de l'oxygène ou de dépôt de PECVD. Si la surface de la couche diélectrique est inégale, le processus de meulage mécanique chimique de CMP est nécessaire pour rendre l'extrados lisse et lisse, qui est commode pour le processus de collage suivant.
(3) liaison de film : Utilisant un dispositif de liaison de gaufrette, l'ion a implanté le cristal de LN est renversé 180 degrés et a collé sur le substrat. Pour la production de niveau de gaufrette, on lisse les surfaces de collage des deux substrats et LN, habituellement par la liaison directe sans besoin de matériaux intermédiaires de reliure. Pour la recherche scientifique, BCB (benzocyclobutene) peut également être employé comme matériel de reliure de couche intermédiaire pour réaliser pour mourir pour mourir liaison. Le mode de collage de BCB a une basse condition sur la douceur de la surface de collage, qui est très appropriée aux expériences de recherches scientifiques. Cependant, BCBS n'ont pas la stabilité à long terme, ainsi la liaison de BCB n'est pas habituellement employée dans la production de gaufrette
(4) recuit et dépouillement : Après les deux surfaces en cristal sont collés et le recuit et le procédé de dépouillement expulsés et à hautes températures sont exigés. Après que la surface des deux cristaux soit adaptée, elle maintient d'abord un certain temps à une température spécifique pour renforcer la force de liaison d'interface, et fait la bulle injectée de couche d'ion, de sorte que des films d'A et de B soient graduellement séparés. En conclusion, le matériel mécanique est utilisé pour éplucher les deux films à part, et pour ramener alors graduellement la température à la température ambiante pour compléter le procédé entier de recuit et de dépouillement.
(5) aplatissement de CMP : Après recuit, la surface de la gaufrette de LNOI est rugueuse et inégale. Davantage d'aplatissement de CMP est nécessaire pour faire le film sur l'appartement de surface de gaufrette et pour réduire l'aspérité.
Spécifications caractéristiques
| les 300-900 couches minces de niobate de lithium de nanomètre (LNOI) | ||||
| Couche fonctionnelle supérieure | ||||
| Diamètre | 3, 4, (6) pouce | Orientation | X, Z, Y etc. | |
| Matériel | LiNbO3 | Épaisseur | 300-900 nanomètre | |
| Enduit (facultatif) | MgO | |||
| Couche d'isolement | ||||
| Matériel | SiO2 | Épaisseur | 1000-4000 nanomètre | |
| Substrat | ||||
| Matériel | SI, LN, quartz, silice fondue etc. | |||
| Épaisseur | 400-500 μm | |||
| Couche facultative d'électrode | ||||
| Matériel | Pinte, Au, Cr | Épaisseur | 100-400 nanomètre | |
| Structure | Au-dessus ou sous de la couche de l'isolement SiO2 | |||
1, communication de fibre optique, telle que le modulateur de guide d'ondes, etc. ont rivalisé avec les produits traditionnels, le volume de dispositifs produits à l'aide de ce matériel de la couche mince peut être réduit par plus d'un million de fois, l'intégration est considérablement améliorée, la largeur de bande de réponse est large, la puissance est basse, la représentation est plus stable, et le coût de fabrication est réduit.
2, appareils électroniques, tels que les filtres, les lignes à retard, etc. de haute qualité.
3, stockage de l'information, et peuvent réaliser le stockage de l'information à haute densité, une capacité de stockage de l'information de film de 3 pouces de de 70 t (CD 100000)
