Paramètre	Valeur
Les dimensions	Pour les véhicules à moteur à commande numérique, la valeur de l'échantillon doit être égale ou supérieure à:
Énergie	AC380V, 50 Hz, puissance totale de 90 kW
L'alimentation pneumatique	2 m3/h, 0,4-0,5 MPa Air sec sans huile
Fourniture d'eau	2 T/h @ 0,3 MPa, ≥ 12 MΩ·cm Résistance

Principe de fonctionnement

Étape de nettoyage du disque céramique

Nettoyage de précision: Utilise un nettoyage par ultrasons à l'eau désionisée (≥ 12 MΩ·cm) pour éliminer les contaminants au niveau des microns des disques céramiques.
Système de séchage: Des couteaux à air à haut rendement et le séchage sous vide garantissent une humidité résiduelle nulle.

Processus automatisé de cirage

Alignement de la vision: Les caméras CCD scannent les coordonnées de surface du disque, atteignant une précision de positionnement de ±0,02 mm.
Dépôt de cire contrôlé: Les têtes de distribution de cire programmables appliquent 0,8 g ± 0,05 g de cire par gaufre.
Optimisation de la pression: Les actionneurs pneumatiques maintiennent une pression de contact uniforme de 5 à 10 N/cm2 pendant le montage des plaquettes.

Contrôle intégré

Opération synchronisée: Le PLC coordonne le module de nettoyage et les deux stations de cirage, permettant un traitement parallèle (max. 30 disques/heure).
Réactions de qualité: Les capteurs d'épaisseur en temps réel détectent l'uniformité de la couche de cire et ajustent automatiquement les paramètres si les écarts dépassent ±3%.

Principaux avantages

Efficacité énergétique: Taux de recyclage de l'eau pure > 80%, consommation de cire de 0,8 g/wafer, énergie 35% inférieure par disque
Connectivité intelligente: Compatible avec le MES/ERP pour la traçabilité des données de processus complets (épaisseur/pression/temps)
Évolutivité: Outils et recettes personnalisables pour les disques non standard Φ300-650 mm

Capacité de production

Taille de la gaufre	Diamètre du disque	Quantité	Temps de cycle
4 pouces	Φ485 mm	11 pièces	5 min/disque
4 pouces	Φ576 mm	13 pièces	6 min/disque
6 pouces	Φ485 mm	6 pièces	3 min/disque
6 pouces	Φ576 mm	8 pièces	4 min/disque
8 pouces	Φ485 mm	3 pièces	2 min/disque
8 pouces	Φ576 mm	5 pièces	3 min/disque

Applications

Traitement complet des disques céramiques: Nettoyage→séchage→la cire dans une seule machine

Il est utilisé dans le traitement de matériaux semi-conducteurs tels que le carbure de silicium (SiC), le silicium (Si), le nitrure de gallium (GaN), et peut également être utilisé pour des matériaux tels que le saphir, la céramique, le cristal,MEMS, et produits optiques.

Questions et réponses

Q1: Comment assurer le taux de rendement?
R1: Le système de vision dédié pour les disques en céramique atteint une précision d'alignement en temps réel de ±0,02 mm.

Q2: Consommation d'eau lors du nettoyage des disques en céramique?
A2: Taux de recyclage de l'eau > 80%, consommation ≤ 0,5 L/disque

Q3: Comment obtenir un changement rapide de taille de la plaque?
R3: La bibliothèque de luminaires intelligents de la machine intégrée commute automatiquement l'outillage via la sélection HMI (temps de commutation <3 min).

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