Four de revêtement de CVD pour des outils au carbure de commande numérique par ordinateur enduisant le service de la couche noire d'or
1. Groupe d'Assemblée
Le four de revêtement de CVD se compose de six parts : établi, chambre de réaction, couverture de chauffage, couverture de refroidissement, grue de rail, condensateur.
Les systèmes principaux sont circuit de refroidissement de refroidissement, système de pompe, système de &pipeline de tube à gaz, système aérodynamique et système de contrôle électrique.
2. Environnement de travail d'usine
2,1 humidité et température ambiantes
2.1.1 humidité ambiante : <90% (à +35°C)
2.1.2 température ambiante : 5℃~40℃
2,2 alimentation d'énergie
2.2.1 alimentation d'énergie : 380V±10%, 50Hz, système à cinq fils triphasé
2.2.2 alimentation d'énergie de contrôle : 210V~250V, 50Hz, monophasé
2,3 source d'air
2.3.1 pression d'air comprimé : 6-7bar,
2.3.2 pression de l'AR : 2-3bar,
2.3.3 pression et écoulement de H2 : 2-3bar, 0-75slm
2.3.4 pression et écoulement de N2 : 2-3bar, 0-50slm
2.3.5 pression et écoulement de Co : 2-3bar, 0-2.5slm
2.3.6 pression et écoulement de CO2 : 2-3bar, 0-5slm
2.3.7 pression CH4 et écoulement : 2-3bar, 0-5slm
2.3.8 pression et écoulement de HCL : 2-3bar, 0-5slm
2.3.9pressionetécoulementde H2S: 2-3bar,0-0.4slm
2,4 source d'eau
2.4.1 pression d'admission de l'eau de refroidissement : 2-3bar, l'eau pure est recommandé. La température est 13-16°C. (des clients doivent être équipés avec de l'eau effrayant), l'écoulement d'eau de refroidissement, 5m3/h.
2.4.2 source d'eau de réserve de secours (être préparé par l'utilisateur)
Pression : 1.5bar-2bar.
3. Forces d'équipement
1. Petite surface au sol et disposition raisonnable.
2. Niveau élevé d'automation.
le matériel 3.Supporting annexe tel que le dispositif de tétrachlorure de dispositif de neutralisation de gaz de queue et titanique, la barre omnibus de gaz, etc. remplissants, peut être fourni.
4. Le système à régulation de processus favorise la R&D indépendante de nouveaux processus
