Zhuzhou Ruideer Metallurgy Equipment Manufacturing Co.,Ltd
Précision suisse, qualité allemande, fabrication intelligente chinoise
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Chine Fabricants de fours CVD pour revêtement au carbure de silicium
Ces équipements sont utilisés pour le revêtement de carbure de silicium de matériaux à base de carbone ou de céramique,en particulier le dépôt de carbure de silicium sur la surface de l'épitaxial du semi-conducteur et de l'anneau de gravure.
Fours à CVD utilisés pour le procédé de dépôt chimique de vapeur (CVD).Le dépôt chimique de vapeur est un processus dans lequel un film mince est déposé sur un substrat en utilisant une réaction chimique entre les gaz précurseurs vaporisés et une surface chauffée..
Base épitaxienne, un disque de graphite de haute pureté, avec une rainure circulaire pour fixer le substrat de la gaufre.Après les avoir placés dans le four, une couche de film cristallin poussera sur la surface du substrat, qui est la couche épitaxienne.Les procédés de fabrication de gaufres tels que la lithographie et l'implantation ionique sont tous effectués sur la couche épitaxienne.
La base épitaxielle en graphite ne peut évidemment pas répondre aux exigences de propreté extrêmement élevées du procédé des semi-conducteurs.Pour cette raison, nous avons besoin d'utiliser des dépôts de vapeur chimique sur la base pour envelopper une couche de film dense de carbure de silicium.
• Normes de conception
L'équipement est conçu conformément aux prescriptions relatives aux récipients sous pression du Bureau de la qualité et de la supervision technique et est qualifié après les essais sous pression et expédié.La conception et la construction électriques sont conformes aux normes nationales.
• Tests préalables à l'installation et pré-acceptation
L'équipement est entièrement assemblé dans notre usine, y compris tous les tuyaux, les tuyaux sous vide, les tuyaux de gaz de procédé, les tuyaux d'eau de refroidissement, les tuyaux d'air comprimé, etc.Des essais préalables peuvent être effectués après l'installation. sur le site du client, les conduites autres que l'équipement sont fournies par le client. l'installation comprend également le raccordement de tous les câbles. sur le site du client, les conduites sont fournies par le client.le câble principal reliant l'appareil électrique est fourni par le clientAprès l'installation, nous effectuons des tests de fuite sous vide et sous pression positive sur l'ensemble de l'équipement, ainsi que des tests de fonctionnement mécanique et électrique.
• Démontage et transport
L'équipement sera démonté en plusieurs grandes pièces, emballé de manière standardisée et chargé dans le véhicule de transport.
• Installation et mise en service du site client
L'ingénieur après-vente de Redel dirigera l'équipe pour terminer la mise en service, la combustion des essais de produits et d'autres travaux dans les 20 jours ouvrables.Le client doit se préparer et fournir les outils nécessaires., tels que les équipements de levage et de levage. et fournir un soutien du personnel d'installation (il est recommandé d'avoir 1 personnel mécanique et 1 personnel électrique).
• Acceptation définitive
Après l'installation et la mise en service, l'équipement peut être finalement accepté conformément aux exigences du contrat technique.
• Formation
Nos ingénieurs après-vente fourniront une formation systématique et complète sur place, y compris l'exploitation, la maintenance, le dépannage, etc.
• Transmission des données techniques
Afin d'assurer un fonctionnement et une maintenance sûrs des équipements, les données techniques suivantes seront fournies aux clients:
1. Mise en place de l'équipement
2. Manuel d'utilisation
3. Liste des pièces détachées
4- Des dessins électriques
5. manuel du composant
Questions fréquentes
Q: Êtes-vous une usine ou une société commerciale?
R: Nous sommes le premier fabricant chinois de fours à vide à haute température avec plus de 10 ans d'expérience.
Q: Avez-vous une personnalisation ou un service OEM?
R:Oui, nous avons une puissante équipe de R&D et des équipements de haute technologie. Nous pouvons donc non seulement fournir le modèle régulier, mais aussi le four personnalisable comme réparation de nos clients.
Q: Quel est votre avantage?
A: Je suis désolé.
Je réponds rapidement à votre demande.
L Contrôle de qualité élevé
L Chaîne d'approvisionnement stable
Livraison en temps opportun
Un excellent service après-vente