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Moteur linéaire miniature sans brosse de moteur de bobine acoustique cylindrique de VCM haute précision et accélération élevée
La conception cylindrique VCM (Voice Coil Motor) présente une structure tubulaire qui abrite ses composants essentiels. Il se compose d’une bobine et d’un aimant permanent, tous deux alignés le long de l’axe central du moteur. La bobine est généralement enroulée autour d'un cylindre creux, tandis que l'aimant permanent entoure la bobine.
Dans les applications de semi-conducteurs, le moteur à bobine mobile cylindrique VCM trouve son rôle dans le positionnement et la manipulation de précision. Voici comment se déroule le processus :
1. Aperçu de la structure :
Bobine : La bobine est un composant essentiel du VCM. Il est composé de plusieurs enroulements de fil et est généralement positionné dans le noyau creux du cylindre.
Aimant permanent : L'aimant permanent entoure la bobine. Son champ magnétique interagit avec le courant traversant la bobine, générant les forces nécessaires au mouvement.
Noyau : Certaines conceptions incluent un noyau magnétique dans la bobine pour renforcer la force du champ magnétique et améliorer l'efficacité.
Boîtier cylindrique : Le boîtier cylindrique maintient la bobine, l'aimant et le noyau en place, assurant ainsi l'intégrité structurelle.
2. Fonctionnement dans les applications de semi-conducteurs :
Manipulation des plaquettes : dans la fabrication de semi-conducteurs, les plaquettes doivent être positionnées avec précision pour divers processus. Le moteur cylindrique VCM est intégré aux systèmes de manipulation de plaquettes pour obtenir un alignement précis.
Alignement : lorsqu'une plaquette doit être positionnée pour un processus spécifique, un système de contrôle envoie un signal au VCM. Un courant électrique circule dans la bobine, générant un champ magnétique. L'interaction entre ce champ magnétique et l'aimant permanent génère une force qui déplace la bobine et la charge qui y est attachée (la plaquette) vers la position souhaitée.
Contrôle de rétroaction : pour garantir la précision, le mouvement du VCM est surveillé par un système de rétroaction. Des capteurs mesurent la position du moteur et fournissent ces informations au système de contrôle. Si un écart par rapport à la position cible est détecté, le système de contrôle ajuste le courant circulant dans la bobine pour corriger la position.
Haute précision : le moteur cylindrique VCM offre une haute précision grâce à son mécanisme à entraînement direct. L'absence d'engrenages ou de courroies minimise le jeu mécanique, ce qui permet un positionnement précis.
Dans les applications de semi-conducteurs, la précision et la réactivité du moteur à bobine mobile cylindrique VCM sont cruciales pour répondre aux exigences strictes des processus de fabrication de semi-conducteurs. Il permet une manipulation précise des tranches, garantissant ainsi une production cohérente et de haute qualité de dispositifs semi-conducteurs.
| Paramètre | Valeur |
|---|---|
| Coût | Faible |
| Type de moteur | Moteur à bobine mobile |
| Bruit | Faible |
| Actuel | Faible |
| Tension | CC |
| Taille | Petit |
| Type de bobine | Multicouche |
| Durée de vie | Long |
| Résolution | Haut |
| Précision de positionnement | Haut |
| Moteur à mouvement linéaire | Oui |
| Moteur vocal à bobine | Oui |
| Moteur d'actionneur linéaire | Oui |
| Modèle de produit | Force maximale (N) |
Force continue à 25℃(N) |
Course totale (mm) |
Tension maximale (V) |
Constante EMF arrière (V/m/s) |
Poids de la bobine (g) |
Diamètre du stator (mm) | La longueur (mm) |
| VCAR0001-0064-00A | 0,88 | 0,28 | 6.4 | 6.9 | 0,29 | 3 | 9.5 | 17.7 |
| VCAR0001-0010-00A | 0,73 | 0,42 | 1 | 4.8 | 0,6 | 2.7 | 24 | 11.2 |
| VCAR00025-0127-00A | 2,55 | 0,81 | 12.7 | 11.6 | 0,77 | .6.6 | 12.7 | 24 |
| VCAR0006-0039-00A | 6.2 | 1.9 | 3.9 | 6.6 | 1.12 | 7.9 | 20 | 17.2 |
| VCAR0006-0050-00A | 6.2 | 2.6 | 5 | 15.7 | 3,57 | 8.2 | 25 | 18.2 |
| VCAR0007-0040-00A | 7.2 | 2.4 | 4 | 7.5 | 1,88 | 7 | 14.2 | 23 |
| VCAR0007-0064-00A | 7.8 | 2.5 | 6.4 | 9.9 | 1,5 | 7.2 | 19.1 | 23,8 |
| VCAR0007-0127-00A | 7.1 | 2.3 | 12.7 | 12,8 | 1.6 | 11.4 | 19.1 | 27 |
| VCAR0011-0050-00A | 11.4 | 2.1 | 5 | 11.8 | 3 | 11.2 | 24 | 17.2 |
| VCAR0011-0100-00A | 10.5 | 2.9 | 10 | 43,8 | 3.5 | 20 | 31 | 26,8 |
| VCAR0013-0030-00A | 13 | 3.5 | 3 | 16 | 3.5 | 12 | 25 | 21 |
| VCAR0013-0072-00A | 13 | 4.2 | 7.2 | 26.6 | 5,72 | 16.2 | 26.2 | 24,7 |
| VCAR0014-0250-00A | 14 | 4.5 | 25 | 26,5 | 3.9 | 35 | 25.4 | 44.2 |
| VCAR0015-0062-00A | 15 | 6.5 | 6.2 | 26.2 | 9h75 | 14.8 | 33 | 25.6 |
| VCAR0022-0098-00A | 22 | 6.6 | 9.8 | 24,7 | 5.8 | 20 | 34.1 | 35 |
| VCAR0022-0448-00A | 22 | 11.4 | 44,8 | 14.3 | 4 | 52 | 48 | 75,7 |
| VCAR0025-0630-00A | 25.3 | 8 | 63 | 50,6 | 5 | 68 | 31,8 | 83.1 |
| VCAR0030-0150-00A | 29.4 | 4,73 | 15 | 40,5 | 7.4 | 27 | 30 | 31 |
| VCAR0032-0050-00A | 32 | 8.9 | 5 | 29.3 | 7.1 | 48 | 40 | 41,7 |
| VCAR0033-0099-00A | 33 | 8 | 9.9 | 24.3 | 5,87 | 23,5 | 36 | 26,7 |
| VCAR0033-0224-00A | 33 | 13.5 | 22.4 | 26,7 | 6.8 | 69 | 58 | 72 |
| VCAR0035-0090-00A | 35 | 11 | 9 | 26.4 | 9 | 33 | 25.4 | 44.3 |
| VCAR0035-0105-00A | 35 | 15.6 | 10.5 | 11.9 | 5 | 91 | 50 | 67 |
| VCAR0044-0040-00A | 44 | 16.3 | 4 | 18.3 | 8.9 | 46,5 | 53 | 21.2 |
| VCAR0044-0059-00A | 44.1 | 17.7 | 5.9 | 14.3 | 8 | 43 | 46 | 22 |
| VCAR0044-0075-00A | 44 | 13.7 | 7.5 | 16,8 | 7.6 | 38,6 | 31.1 | 35,9 |
| VCAR0044-0249-00A | 44 | 11.7 | 24.9 | 44,9 | 8,88 | 65,9 | 38.1 | 51.3 |
| VCAR0070-0149-00A | 70 | 27.3 | 14.9 | 26,9 | 17.7 | 79 | 43 | 53,7 |
| VCAR0075-0200-00A | 75 | 30 | 20 | 26.2 | 15.2 | 65 | 70 | 38,7 |
| VCAR0080-0129-00A | 80 | 35 | 12.9 | 27,7 | 18 | 149 | 49 | 53,8 |
| VCAR0087-0062-00A | 87 | 21.67 | 6.2 | 34,5 | 12.7 | 45.2 | 43.1 | 34,9 |
| VCAR0087-0563-00A | 87 | 17.5 | 56.3 | 63,4 | 8.1 | 177 | 72 | 110 |
| VCAR0105-0164-00A | 105 | 35.4 | 16.1 | 20.1 | 11.5 | 150 | 60,4 | 40.4 |
| VCAR0110-0380-00A | 110 | 37.4 | 38 | 23.2 | 9 | 150 | 60,4 | 60,4 |
| VCAR0113-0089-00A | 113 | 35 | 8.9 | 31 | 17.5 | 125 | 73 | 27,5 |
| VCAR0115-0065-00A | 115 | 30.1 | 6.5 | 35 | 17.3 | 52 | 40 | 58 |
| VCAR0130-0310-00A | 130 | 40 | 31 | 30.4 | 20,5 | 280 | 75,6 | 56,5 |
| VCAR0140-0150-00A | 140 | 42.2 | 15 | 33.4 | 26.6 | 80 | 53 | 53,7 |
| VCAR0210-0254-00A | 210 | 66.2 | 25.4 | 56,6 | 28 | 230 | 43,7 | 111,8 |
| VCAR0262-0112-00A | 262 | 111 | 11.2 | 35.1 | 41 | 285 | 71 | 64 |
| VCAR0262-0249-00A | 262 | 112 | 24.9 | 28.2 | 26 | 785 | 66 | 109.1 |
| VCAR0294-0498-00A | 294 | 56,8 | 49,8 | 114 | 24,5 | 685 | 93 | 136,9 |
| VCAR0436-0187-00A | 436 | 147,6 | 18.7 | 40,7 | 40,7 | 648 | 80,4 | 91 |
| VCAR0436-0250-00A | 436 | 167 | 25 | 31,6 | 37.2 | 775 | 78,4 | 110 |
| VCAR0436-0373-00A | 436 | 142,6 | 37.3 | 38 | 29,8 | 1050 | 76 | 163 |
| VCAR0980-0249-00A | 980 | 605 | 24.9 | 41,5 | 104 | 1426 | 126 | 134,5 |
| VCAR1351-0310-00A | 1351 | 376,8 | 31 | 73,5 | 68 | 1071 | 110 | 143,7 |
Le moteur est principalement utilisé dans l'aviation médicale semi-conductrice,
l'automobile et d'autres domaines, y compris les freins à valve, la plate-forme de vibration d'instrument de mesure de remplacement de petite précision et le système de réduction de vibration active et bien d'autres aspects.
Le marché se concentre principalement sur les secteurs des semi-conducteurs médicaux, de l’aviation et de l’automatisation.
Les applications des actionneurs de la série VCAR comprennent les actionneurs de vannes, le prélèvement et le placement sur l'axe Z, les petites pompes doseuses volumétriques précises et les vibrateurs et les systèmes d'amortissement actif des vibrations. Les marchés comprennent les semi-conducteurs médicaux, l'aérospatiale et l'automobile. Ce moteur d'actionneur linéaire est contrôlé en tension et fournit une source de tension continue.
