| Composant |
Composition et caractéristiques |
| Puits à dépression |
Nombre |
Chambre simple |
| Matériel |
acier inoxydable 304 |
| Forme |
Structure verticale cylindrique |
| Dimension |
Φ300XH250 |
| Joint supérieur |
Joint en caoutchouc de fluor |
| Bec |
Contient l'interface de mesure de vide deux, plusieurs magnétron pulvérisant
interface de cible,
une interface de valve sous vide poussé, une interface de tuyau de drainage,
interface de voyant à niveau visible,
interface de trois valves, interface trois et mécanisme opératoire de
interface deux électrique
introduction.
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| Mode s'ouvrant |
Dispositif de levage de capot supérieur sans levage supérieur |
| Allumage/séchant |
lampe de l'éclairage 1x1000W, séchage de lampe de l'halogène 1x1000w, séchant
la température dans 200℃
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| Systèmes de pompage de vide |
pompe principale |
Pompe moléculaire 1pc |
| forepump |
pompe mécanique de la palette 6L rotatoire |
| pompe de support |
| valve |
La valve sous vide poussé adopte le vide très poussé 1pc, clapet de purge
adopte l'arrêt de vide très poussé
valve trois
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| Tuyau/commun |
Tube d'acier inoxydable de précision, composé de soufflets, vite
déchargez la rue et la double carte
joint de douille
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| Système de mesure de vide |
La mesure de vide composée, mesure adopte toute la mesure nue en métal |
| Système de pulvérisation de magnétron |
Source de pulvérisation de magnétron |
Un ou deux cibles de pulvérisation du magnétron R60 |
| Position de montage de cible |
Plat de puits à dépression |
| Alimentation d'énergie |
DC0.5KW, RF0.5KW chaque 1pc |
| taille de cible |
Cible de cuivre ronde Φ60x2pcs |
| Opération de cloison |
Axe direct 1pc |
| Système de substrat |
Taille/quantité de substrat |
Φ≤60mm, 1pc |
| Rotation de substrat |
autoroatation, vitesse 0-120/minute |
| Couple de base de cible |
10cm, est réglable (±5cm) |
| Chauffage de substrat |
Peut être chauffé au-dessous de 700℃, avec le refroidissement par l'eau |
| contrôle de température |
Contrôle de PID, l'exactitude de contrôle ±1℃ |
| Système de refroidissement par l'eau |
refroidissement de la cible |
Avec de l'eau une conduite d'eau de refroidissement et aucun de refroidissement ou insuffisant
pression d'eau de refroidissement,
l'eau
le relais de pression est déconnecté et l'alimentation d'énergie de cible est coupée
afin d'empêcher
la cible
de la surchauffe
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| Système de réfgigération sous vide |
Refroidissement moléculaire de pompe |
| Refroidissement de substrat |
Refroidissement par l'eau de refroidissement |
| Système de livraison de gaz |
Donner le mode |
le gazoduc et la soupape de remplissage sont passés par le vide
mur de chambre
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| Contrôle de gaz |
Contrôleur d'écoulement de la masse de cpc |
| Vue |
structure |
Cadre en aluminium |
