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Index principal de paramètre :
1. vide final : PA du ³ ≤6.6X10
2. le système d'acquisition de vide adopte la pompe moléculaire + unité mécanique de pompe
3. pompage continu pendant 30 minutes, la PA de ³ du degré ≤86X10 de vide
4.E type arme à feu électronique, tension maximum 8-10KV, puissance 8KW
5. des morceaux de diamètre bas de 400mm, peuvent être chauffés à au-dessous de 300℃, avec le refroidissement par l'eau, vitesse de substrat réglable, distance réglable de substrat de cible
6. mesure d'épaisseur de film, équipée de l'instrument d'épaisseur de film de cristal de quartz, une sonde refroidie à l'eau