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Index principal de paramètre :
1. vide final : PA du ³ ≤6.6X10
2. le système d'acquisition de vide adopte la pompe moléculaire + unité mécanique de pompe
3. pompage continu pendant 30 minutes, la PA de ³ du vide degree≤86X10
4. évaporation : type électrode de résistance d'évaporation 2 groupes, alimentation d'énergie d'évaporation : 2 ensembles, puissance 2KW
L'appui de 5. substrats : rotation, chauffage, embase de l'eau
6. mesure d'épaisseur de film, équipée de l'instrument d'épaisseur de film de cristal de quartz, une sonde refroidie à l'eau