0,07 bar ~ 35 bar cellule de capteur de pression à membrane affleurante de petite taille
Puce de pression en silicium haute stabilité et haute précision avec puce piézorésistive.Il adopte une conception optimisée pour les contraintes du siège fritté, par patch, liaison par fil d'or, soudage de diaphragme, injection d'huile sous vide poussé, déstressage du cycle de pression.
La description
Basé sur une technologie avancée d'implantation ionique et de traitement micromécanique, le capteur de pression piézorésistif du boîtier PS21 TO8 est fabriqué à partir d'une puce de silicium dotée de ponts de Wheatstone et d'une structure mécanique précise.
La pression mesurée agit directement sur la matrice de silicium via l'orifice de pression, et la valeur de pression est transformée en signal de tension de sortie dans une relation de linéarité.
Le capteur de pression est compensé en température au moyen de technologies découpées au laser, le boîtier TO8 le rend adapté à une application de montage sur circuit imprimé, ou installé dans de petits champs spatiaux pour la mesure de pression de gaz ou de fluides liquides.
Le capteur de pression PS21 a été largement utilisé pour le contrôle de la pression atmosphérique, la protection physiologique, l'équipement médical.
Spécifications
| Moyen de pression |
gaz ou liquide non conducteur et non corrosif |
| Plages de pression |
0~0.07bar 0.07bar ~35bar |
| Type de pression |
jauge (G), absolue (A), jauge scellée (S) |
| Surpression |
150 % PE |
| Signal de sortie |
70mV (typique) |
| Précision |
0,25 % PE (standard) 0,5 % PE |
| Décalage zéro |
≤±2mV |
| Stabilité à long terme |
<0,2 % PE/an |
| Excitation |
1.5mA |
| Temp. compensée. |
0°c ~+50°c |
| Exploitation temporaire. |
-40~+125°c |
| Temp. |
-40~+125°c |
| Zéro Temp.Coefficient |
0,25 % PE/ 10 °c |
| Temp.Coefficient |
0,2 % PE/ 10 °c |
| Résistance du pont |
Min. |
Max. |
Unité |
| |
2600 |
5500 |
ohm |
| Vibration |
20g (20— 5000HZ) |
| Temps de réponse |
≤1ms |
| Connexion électrique |
6 broches (broches kovar plaquées or) |
| Matériau du boîtier |
316L |
| Effet de positionnement |
déviation de 90° dans n'importe quelle direction, changement de zéro ≤ 0,05 % FS |
| Impact |
1oog,11ms |
| Poids net |
4g |
