Add to Cart
Un substrat libre plat d'U-GaN Hvpe-GaN pour des dispositifs d'III-nitrure
PAM-XIAMEN a établi la technologie manufacturière pour (nitrure de gallium) la gaufrette libre de substrat de GaN qui est pour UHB-LED et LD. Développé par technologie de (HVPE) d'épitaxie de phase vapeur d'hydrure, notre substrat de GaN a la basse densité de défaut et moins ou la macro densité libre de défaut.
PAM-XIAMEN offre la gamme complète de GaN et matériaux relatifs d'III-N comprenant des substrats de GaN de diverses orientations et conductivité électrique, calibres de crystallineGaN&AlN, et epiwafers faits sur commande d'III-N.
Montre ici des spécifications de détail :
Un substrat libre plat d'U-GaN GaN
| Article | AU Pam-FS-GaN |
| Dimension | 5 x 10 millimètres2 |
| Épaisseur | 350 ±25 µm du µm 430±25 |
| Orientation |
Un avion (11-20) outre d'angle vers le M-axe 0 ±0.5° Un avion (11-20) outre d'angle vers le C-axe -1 ±0.2° |
| Type de conduction | de type n |
| Résistivité (300K) | < 0=""> |
| TTV | µm du ≤ 10 |
| ARC | -10 µm du ≤ 10 d'ARC de ≤ de µm |
| Aspérité : |
Partie antérieure : Ra<0> Arrière : La terre fine ou poli. |
| Densité de dislocation | De 1 de x 10 5 à 5 de x 106 cm-2 |
| Macro densité de défaut | 0 cm2 |
| Secteur utilisable | > 90% (exclusion de bord) |
| Paquet | chacun dans le conteneur simple de gaufrette, sous l'atmosphère d'azote, emballée dans la pièce propre de la classe 100 |
Un substrat libre plat d'U-GaN GaN
Le substrat de GaN de PAM-XIAMEN (nitrure de gallium) est substrat monocristallin avec de haute qualité, qui est fait avec la méthode originale de HVPE et la technologie transformatrice de gaufrette. Elles sont uniformité haut cristalline et bonne, et qualité extérieure supérieure. Des substrats de GaN sont employés pour beaucoup de genres de demandes, de LED blanche et de LD (violet, bleu et vert), en outre le développement a progressé pour des applications d'appareil électronique de puissance et de haute fréquence.
GaN est très un dur (12±2 GPa, matériel large mécaniquement stable de semi-conducteur de bandgap avec la capacité et la conduction thermique de feu vif. Sous sa forme pure il résiste fendre et peut être déposé en couche mince sur le carbure de saphir ou de silicium, en dépit de la disparité dans leurs constantes de trellis. GaN peut être enduit du silicium (Si) ou avec l'oxygène à de type n et avec du magnésium (Mg) à de type p. Cependant, changement des atomes de SI et de magnésium la manière que les cristaux de GaN se développent, présentant des contraintes de traction et les rendant fragiles. Les composés de Galliumnitride tendent également à avoir une densité de dislocation élevée, sur l'ordre de 108 à 1010 défauts par centimètre carré. Le comportement large de bande-Gap de GaN est relié aux changements spécifiques de la structure de bande électronique, de la profession de charge et des régions de liaison chimique.
Constante de trellis de substrat de GaN
Des paramètres de trellis de la nitrure de gallium ont été mesurés utilisant la diffraction élevée de rayon de ‐ de la résolution X de ‐

GaN, sructure de wurtzite. Les constantes a de trellis contre la température.

GaN, sructure de wurtzite. Les constantes c de trellis contre la température
Propriétés de substrat de GaN
| PROPRIÉTÉ/MATÉRIEL | (Bêta) GaN cubique | (Alpha) GaN hexagonal |
| . | . | . |
| Structure | Blende de zinc | Wurzite |
| Groupe d'espace | F bar4 3m | C46v (= P63mc) |
| Stabilité | Métastable | Stable |
| Paramètres de trellis à 300K | 0,450 nanomètres | a0 = 0,3189 nanomètres c0 = 0,5185 nanomètres |
| Densité à 300K | 6,10 g.cm -3 | 6,095 g.cm -3 |
| Modules élastiques à 300 K | . . | . . |
| Coefficients linéaires de dilatation thermique. | . . | Le long d'a0 : 5.59x10-6 K-1 Le long de c0 : 7.75x10-6 K-1 |
| à 300 K | ||
| Polarisations spontanées calculées | Non applicable | – 0,029 C m2 Bernardini et autres 1997 Bernardini et Fiorentini 1999 |
| Coefficients piézoélectriques calculés | Non applicable | e33 = + 0,73 C m2 e31 = – 0,49 C m2 Bernardini et autres 1997 Bernardini et Fiorentini 1999 |
| Énergies de phonon | : mev 68,9 LO : mev 91,8 |
A1 (À) : mev 66,1 E1 (À) : mev 69,6 E2 : mev 70,7 A1 (LO) : mev 91,2 E1 (LO) : mev 92,1 |
| La température de Debye | 600K (prévu) Slack, 1973 |
|
| Conduction thermique 300K proche |
. . | Unités : Wcm-1K-1 1,3, Tansley et autres 1997b 2.2±0.2 pour profondément, GaN libre Vaudo et autres, 2000 2,1 (0,5) pour le matériel de LION là où peu de dislocations (de beaucoup) Florescu et autres, 2000, 2001 vers 1,7 à 1,0 pour n=1x1017 à 4x1018cm-3 en matériel de HVPE Florescu, Molnar et autres, 2000 2,3 ± 0,1 en matériel Fe-enduit de HVPE de CA 2 x108 ohm-cm, et densité de dislocation CA 105 cm2 (effets de T et de la densité de dislocation également donnés). Mion et autres, 2006a, 2006b |
| Point de fusion | . . | . . |
| Constante diélectrique à basse/basse fréquence |
. . | Le long d'a0 : 10,4 Le long de c0 : 9,5 |
| Indice de réfraction | 2,9 à 3eV Tansley et autres 1997b |
2,67 à 3.38eV Tansley et autres 1997b |
| Nature de domaine d'énergie par exemple | Direct | Direct |
| Domaine d'énergie par exemple à 1237K | eV 2,73 Ching-Hua Su et autres, 2002 |
|
| Domaine d'énergie par exemple à 293-1237 K | 3.556 - 9.9x10-4T2/eV (T+600) Ching-Hua Su et autres, 2002 |
|
| Domaine d'énergie par exemple à 300 K | eV 3,23 Ramirez-Flores et autres 1994 . eV 3,25 Logothetidis et autres 1994 |
eV 3,44 Monemar 1974 . eV 3,45 Koide et autres 1987 . eV 3,457 Ching-Hua Su et autres, 2002 |
| Domaine d'énergie par exemple à CA 0 K | eV 3,30 Ramirez-Flores et al1994 Ploog et autres 1995 |
eV 3,50 Dingle et autres 1971 Monemar 1974 |
| Conc. de transporteur intrinsèque à 300 K | . . | . . |
| Énergie d'ionisation… de donateur | . …. | . …. |
| La masse efficace d'électron je */m0 | . . | 0,22 Moore et autres, 2002 |
| Mobilité des électrons à 300 K pour n = 1x1017 cm-3 : pour n = 1x1018 cm-3 : pour n = 1x1019 cm-3 : |
. . | CA 500 cm2V-1s-1 CA 240 cm2V-1s-1 CA 150 cm2V-1s-1 Est monté et Gaskill, 1995 Tansley et autres 1997a |
| Mobilité des électrons à 77 K pour n =. |
. …. | . …. |
| Énergie d'ionisation des accepteurs | . . | Magnésium : mev 160 Amano et autres 1990 Magnésium : mev 171 Zolper et autres 1995 Ca : mev 169 Zolper et autres 1996 |
| Mobilité de hall de trou à 300 K pour le p=…. |
. . | . …. |
| Mobilité de hall de trou à 77 K pour le p=…. |
. …. | . . |
| . | (Bêta) GaN cubique | (Alpha) GaN hexagonal |
Application de substrat de GaN
La nitrure de gallium (GaN), avec un espace de bande direct de l'eV 3,4, est un matériel prometteur dans le développement des dispositifs luminescents à ondes courtes. D'autres demandes de circuit optique de GaN incluent des lasers de semi-conducteur et des détecteurs optiques.